3D飞点分光干涉仪
大视野:采用高精度光学振镜扫描方案实现水平方向大视野扫描,避免使用昂贵的高精度水平位移台;
大景深:高分辨率光谱仪进行信号采集,经分光元件将白光分光,具备mm级测量深度特性,无需深度方向扫描装置;
高精度:大测量深度高分辨率相敏谱域干涉解调算法,重复精度30nm;
高速度:FPGA硬件加速设计,帧率70kHz;
灵活性:信号采集端和接收端分离式设计,采集端安装更灵活;用户设置自定义扫描区域、扫描间隔,亦可重点获取感兴趣区域;
适应性:适用于透明、弱反光、高反光、狭缝等材料类型的表面形貌以及厚度检测。
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